Возможность одноканального измерения температуры с выбираемой/фиксированной излучательной способностью. Sekidенко OR400M обеспечивает точное измерение температуры, необходимое для полупроводниковых приложений, требующих более длинных волн. •Настраиваемая длина волны в зависимости от типа материала и требуемого диапазона температур •Встроенный оптический датчик •Как аналоговая, так и цифровая связь с дополнительными протоколами Fieldbus для управления с обратной связью Обзор Оптический пирометр OR400M компании Advanced Energy расширяет гибкость семейства продуктов Sekidенко до средней длины волны ИК-диапазона диапазон от 3,3 до 5,2 мкм. OR400M предлагает возможность одноканального измерения температуры для тонкопленочных солнечных, стекольных и передовых полупроводниковых процессов. OR400M поддерживает интерфейсы RS-232 и аналоговых данных. Благодаря своей компактной конструкции OR400M может легко удовлетворить требования к малой занимаемой площади во многих технологических приложениях. Преимущества •Повышает точность измерения температуры для критических процессов •Улучшает повторяемость и минимизирует отклонения •Повышает производительность, выход и пропускную способность •Повышает стабильность и надежность для нескольких камер и материалов подложки. Особенности •Бесконтактное измерение температуры с использованием линзованных оптических датчиков •Автоматическая температурная коррекция окружающей среды •Лучшие в отрасли показатели температуры и скорости считывания. •Высокогибкая модульная архитектура платформы. •Полный набор входов/выходов и внешнего запуска/синхронизации.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияоптическийДисплейцифровойКонфигурацияфиксированная, компактнаяПрименениедля полупроводниковДругие характеристики бесконтактныйТемпература
Макс.: 1300 °C (2372 °F)
Мин.: 50 °C (122 °F)
