Ход 30 мм при занимаемой площади 45 x 52 мм для работы в замкнутом контуре (разрешение до 50 нм), многоосные комбинации без переходных пластин. Миниатюрный столик перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом с измерительной системой.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияпереводТиппьезоДругие характеристикиминиатюраХод
30 мм (1,181 дюйма)
Скорость
1,2 мм/с
