для условий сверхвысокого вакуума до 10^(-9) мбар. Ход 3,5 мм по осям x и y. Самый маленький продукт в нашем портфолио. Сверхмаленькие миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия MS15 для сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияпереводТиппьезоДругие характеристикиминиатюраХод
3 мм (0,118 дюйма)
Скорость
1,5 м/с (4,92 фута/с)
