Пьезо-верхняя часть
Поступательное движение пьезо-актуатора создает незначительное вращательное движение поворотной пластины.
Актуатор с рабочим диапазоном 90 мкм способен обеспечить максимальный угловой диапазон 134 угловых секунды.
Разрешение системы зависит как от длины плеча рычага (стандарт 137,51 мм), так и от разрешения актуатора.
Для предварительной настройки используется установленный снизу гониометр 410 или 408.
Система доступна в конфигурации для высокого вакуума.
Также доступно:
- различные актуаторы
- усилитель напряжения
- соединительные кабели
