Эта машина предназначена для повышения эффективности элемента за счет нанесения пассивирующего слоя на лицевую сторону кремниевой пластины после изоляции краев и удаления PSG. Характеристики Высокая производительность: 14 400 пластин в час (2 400 пластин на лодку) Время цикла: 60 минут Время безотказной работы: 99 %
Технические характеристики
ХарактеристикиФункцияокислениеКонфигурацияшкаф
