Наша стандартная система нанозондов с 4 или 8 манипуляторами с замкнутым контуром. SMARPROBE SP4 — это измерительная система, содержащая до 4 манипуляторов, а SMARPROBE SP8 — до 8 манипуляторов. Каждый из манипуляторов имеет 3 степени свободы и оснащен оптическими энкодерами нанометрового разрешения для высокоточного электрического зондирования. Интеллектуальные процедуры позиционирования, реализованные в специальном программном обеспечении управления, и возможность загрузки до четырех заглушек образцов SEM повышают простоту эксплуатации и общую производительность любой задачи нанозондирования. Прочная механическая конструкция обеспечивает высочайшую стабильность и простоту эксплуатации. Зондовые системы совместимы с широким спектром FIB, SEM и оптических микроскопов и, таким образом, идеально подходят для модернизации существующих зондовых установок и для интеграции в новые инструменты. Системы датчиков SMARPROBE позволяют использовать методы определения электрических характеристик от 2-контактных EBIC/EBAC до 4- и 6-точечных измерений, что делает SMARPROBE незаменимым инструментом для вашей лаборатории анализа отказов. Манипулятор с креплением для зонда — замкнутый контур XYZ Количество манипуляторов — ≤ 4 / ≤ 8 Этап отбора проб — замкнутый контур управления XYZ — «Наведи и щелкни», джойстик Зона зондирования [мм] — 25 x 25 Диапазон сканирования в XYZ1 [мкм] — 3 Термический дрейф2 [нм/мин] — 1 — 10
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияоптическаяОбластьлабораторияДругие характеристикиэлектрические характеристики
