Система измерения толщины Optical NanoGauge C12562 представляет собой компактную, компактную бесконтактную систему измерения толщины пленки, предназначенную для простой установки в необходимое оборудование. В полупроводниковой промышленности измерение толщины кремния имеет важное значение из-за распространения технологии сквозного кремния, а в индустрии производства пленок пленки с адгезионным слоем делаются все тоньше, чтобы соответствовать спецификациям продукта. Таким образом, в этих отраслях теперь требуется еще более высокая точность измерения толщины в диапазоне от 1 до 300 мкм. C12562 позволяет проводить точные измерения в широком диапазоне толщин от 500 нм до 300 мкм, включая толщину тонкопленочного покрытия и пленочной подложки, а также общую толщину. C12562 также обеспечивает быстрые измерения с частотой до 100 Гц, что делает его идеальным для измерений на высокоскоростных производственных линиях. Особенности • Выполняет измерения в диапазоне от толщины тонкой пленки до общей толщины • Сокращение времени цикла (макс. 100 Гц) • Улучшенные внешние триггеры (обеспечивают высокоскоростное измерение) • В программное обеспечение добавлено упрощенное измерение • Возможность анализа поверхности • Точное измерение колеблющейся пленки • Анализ оптических констант (n, k) • Доступно внешнее управление. Технические характеристики Номер типа: C12562-04 Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 500 нм до 300 мкм*1 Воспроизводимость измерений (стекло): 0,02 нм*2 *3 Точность измерения (стекло): ±0,4 %*3 *4 Источник света: Галогенный источник света Размер пятна: Прибл. φ1 мм*3 Рабочее расстояние: 10 мм*3 Количество измеряемых слоев: Макс. 10 слоев Анализ: анализ БПФ, анализ фитингов, анализ оптической постоянной Время измерения: 3 мс/точка*5 Форма оптоволоконного разъема: FC
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеренная физическая величинатолщинаТехнология оптический, манометрИзмеряемый материалдля пленкиДругие характеристикибесконтактный, компактный, высокоскоростной
