SERVOPRO DF высокой чистоты DF-730 контролирует ультра-следовые количества влаги в HCl. DF-730 — это анализатор ультра-микро-влажности, который контролирует хлористый водород (HCl) высокой чистоты, используемый в электронике, используемый на заводах по производству полупроводников. Измерение следов влажности при производстве газа HCl электронного класса. Разработанный для анализа содержания влаги в HCl электронного качества, используемом на заводах по производству полупроводников, DF-730 идеально подходит для контроля качества и обнаружения утечек. Ведущая в отрасли сенсорная технология настраиваемого диодного лазера (TDL) компании Servomex и надежная ячейка Herriot обеспечивают широкий диапазон измерений от 10 частей на миллиард (ppb) до 10 частей на миллион (ppm). Благодаря тому, что влага контактирует только с минимальным количеством оптических компонентов, на производительность DF-730 не влияет потеря отражательной способности зеркала, что обеспечивает быстрое, стабильное, точное и последовательное измерение. Оптимизирован для обеспечения доступности в течение всего срока службы анализатора. Передовая технология измерения TDL DF-730 обеспечивает дрейф нуля, помогая продлить периоды технического обслуживания и сократить потребности в калибровке. Благодаря своей высокой производительности, сверхстабильным возможностям мониторинга и значительной экономии эксплуатационных расходов DF-730 является идеальным решением для мониторинга чистоты для заводов по производству полупроводников.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемый объектгазОбласть применения мониторинг, для контроля качестваИзмеряемое значениевлажностьКонфигурациядля интеграцииТехнологияTDL
