Платформа VULCANO XYZ3TH состоит из стандартной платформы VULCANO XY, оснащенной комбинированным модулем Z3TH. Этот модуль с 4 степенями свободы обеспечивает вращение Тета на 364°, две оси Z, грубую для загрузки и выгрузки пластин и точную для регулировки фокуса, а также коррекцию наклона и наклона более ±0,1°. Характеристики — Компактная площадь — Стабильность положения нанометра — Высокая динамика: 2,5 g, 1,5 м/с — Малое время перемещения и стабилизации — Совместимость с чистыми помещениями ISO1 — Коррекция наклона и наклона более ±0,1° — Двойная интеграция Z — Встроенный гравитационный компенсатор Z — Превосходная прямолинейность по оси Z — Повышенная повторяемость и джиттер по оси Z — Возможность корректировки плоскостности предметного столика — Встроенная подача вакуума на уровне патрона
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыдля пластин, 6 осей
