Платформа VULCANO XYT состоит из стандартной платформы VULCANO XY, оснащенной поворотным модулем RTTB, который включает в себя энкодер высокого разрешения, соединенный с превосходным механическим подшипником. Использование этой платформы подходит, помимо прочего, для: — Приложений управления процессом изготовления полупроводниковых пластин, таких как метрология наложения, критических размеров и метрологии тонких пленок. — Внутренняя часть: специальные процессы флип-чипа, выполняемые на больших панелях/подложках. Характеристики — Компактность. — Нанометровая стабильность положения — Короткое время перемещения и стабилизации — Высокая динамика — Высокая двунаправленная повторяемость — Высокая стабильность положения — Совместимость с чистыми помещениями класса 1 по ISO
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметры3-осевой, для пластин
