Многоточечный NanoGauge C11295

Многоточечная система измерения толщины NanoGauge C11295 представляет собой систему измерения толщины пленки, использующую спектральную интерферометрию. Он предназначен для измерения толщины пленки в процессе производства полупроводников, а также для контроля качества АПК и пленок, устанавливаемых на оборудование для производства полупроводников. Позволяет проводить многоканальные измерения в режиме реального времени, что обеспечивает одновременное многоканальное измерение и многоточечное измерение на поверхности пленки. В то же время он также может измерять отражательную способность (коэффициент пропускания), цвет объекта и их изменение во времени.

Технические характеристики

Type number	C11295-XX*1
Measurable film thickness range (glass)	20 nm to 100 μm*2
Measurement reproducibility (glass)	0.02 nm3 4
Measurement accuracy (glass)	±0.4 %4 5
Light source	Xenon light source *6
Measurement wavelength	320 nm to 1000 nm
Spot size	Approx. φ1 mm*4
Working distance	10 mm*4
Number of measurable layers	Max. 10 layers
Analysis	FFT analysis, Fitting analysis
Measurement time	19 ms/point*7
Fiber connector shape	SMA
Number of measurement points	2 to 15
External control function	Ethernet
Interface	USB 2.0 (Main unit — Computer) RS-232C (Light source — Computer)
Power supply	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
Power consumption	At 2ch: Approx. 350 VA, at 15ch: Approx. 500 VA

Вопросы и ответы

Как проверить совместимость товара?

Сравните артикул, технические параметры и формат исполнения с требованиями вашей модели оборудования.

Можно ли заказать партию?

Да, для партийных закупок доступны отдельные условия, ориентируйтесь на количество и сроки поставки.