SMARPOD P-SLL использует три каретки серии SLL для реализации больших дальностей перемещения. SMARPOD P-SLL основан на ступенях SLC для движения в направлении Y и ступени SLL в направлении X. Благодаря такому специфическому сочетанию различных линейных ступеней P-SLL предлагает чрезвычайно большой диапазон перемещения в направлении X до 1200 мм, сохраняя при этом небольшую занимаемую площадь в направлении Y. Он также доступен в версии, совместимой с высоким вакуумом. Механический ход [мм] — 20…1200 (X), 45…119 (Y), ≤ 16 (Z) Ход [ — ≤ 42 (Θx), ≤ 33 (Θy), ≤ 42 (Θz) Макс. . Нормальная сила [Н] — 10 Макс. Горизонтальная сила [Н] — 5 Размеры [мм] — > 250 x 93 Высота платформы над землей [мм] — 67,5 Вес [г] — 300 … 2000 Типы датчиков с замкнутым контуром — S, SC Наименьший шаг [нм] — 1 Наименьшее приращение [мкрад] — 1 Повторяемость с обратной связью, полный ход MCS2 [нм] —
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейМногоосевойОсобенностигексаподПовторяемость
100 нм
Ход
17 мм, 62 мм, 330 мм (0,669 дюйма)
/div>
