Многоосная система нанопозиционирования SMARPOD 110.45гексаподс параллельной кинематикойсверхвысокий вакуум

SMARPOD 110.45 среднего размера способен позиционировать полезную нагрузку до 5 Н с 6 степенями свободы. SMARPOD 110.45 — это система позиционирования среднего размера, похожая на шестиножку. Благодаря большому диапазону хода он чрезвычайно универсален. Опционально опорная плита может быть оснащена монтажными стойками для инструментов, компонентов или датчиков, превращая систему позиционирования в основное устройство для микросборки и любого другого применения, требующего точного выравнивания. Как и другие SmarAct SMARPOD, 110.45 также доступен в версиях для высокого и сверхвысокого вакуума или изготовлен из полностью немагнитных материалов. Механический ход [мм] — 20 (X), 20 (Y), 10 (Z) Ход [ — 21 (Θx), 24 (Θy), 38 (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] — 5 Макс. Горизонтальная сила [Н] — 2,5 Размеры [мм] — Ø 110 Высота платформы над землей [мм] — 45 Вес [г] — 400 Типы датчиков с замкнутым контуром — S, SC Наименьший шаг [нм] — 1 Наименьший шаг [мкрад] ] — 1 Повторяемость с обратной связью, полный ход MCS2 [нм] —