Sevenstar выпускает CS300 MFC нового поколения для маркетинга полупроводников. Основанный на технологической платформе CS, CS300 представляет собой новейшее поколение, разработанное специально для крупномасштабного интегрального оборудования. CS300 MFC имеет алгоритм компенсации давления на основе DF, улучшенную обработку поверхности и спецификации, соответствующие стандарту SEMI, а также 1,125-дюймовое IGS W-уплотнение и C-уплотнение. интерфейс доступен. Особенности 1. Высокая точность и быстрый отклик. Точность CS300 MFC была улучшена до ±0,8% от SP, а самые продвинутые модели имеют время отклика менее 0,5 секунды. 2. Низкий дрейф нуля и температурный коэффициент. Изобретение новой сенсорной технологии позволяет CS230 MFC сохранять стабильность и выдерживать колебания температуры. Без усилителя автоматической установки нуля ожидаемый дрейф нуля составляет менее 0,6% полной шкалы в год, а температурный коэффициент составляет менее 0,02% полной шкалы/℃(ноль), 0,05% полной шкалы/℃ (диапазон). 3. Модели с металлическим уплотнением и высокая степень чистоты В CS300 применяется специальный процесс обработки металлической поверхности. Используется нержавеющая сталь 316 VV, а шероховатость может быть менее 5 RA, что требуется полустандартами. 4. Совместимые интерфейсы CS300 MFC совместим со следующими интерфейсами, которые могут быть выбраны клиентом: двусторонний источник питания ±8В-±16В и несимметричный источник питания +14В-+28В, цифровой или аналоговый сигнальный вход и выход, стандартные механические размеры SEMI и модуль связи RS-485 или DeviceNetTM. 5. Различные функции Мощное клиентское программное обеспечение входит в стандартную комплектацию каждой модели, а дополнительные функции, такие как работа с несколькими газами, несколькими диапазонами, автоматический обнуление, сигнализация, плавный пуск и задержка, доступны по выбору клиента.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиямассаЖидкостьдля жидкостей Материалнержавеющая стальСвязьRS485Другие характеристикицифровая Температура процесса
Макс.: 50 °C (122 °F)
Мин.: 0 °C (32 °F)
Технологическое давление
3,5 МПа
Точность
0,35 %, 0,8 %, 1 %
Повторяемость
0,2 %