Плазменные системы Diener Electronic уже давно зарекомендовали себя во многих отраслях промышленности. С плазменной системой низкого давления Tetra 100 вы можете положиться на современную и перспективную технологию холодной плазмы в вакууме. Объем камеры ок. 100 литров этой плазменной системы обеспечивают достаточно места для обслуживания серийного производства/автоматизации. Обработка плазмой низкого давления — это проверенный метод контролируемой сверхтонкой очистки, улучшения адгезии (активации и травления) и нанесения тонких пленок на поверхности подложек. Плазма генерируется путем подачи высокочастотного напряжения в вакуумную камеру. При этом подаваемый туда технологический газ ионизируется. Области применения: Очистка органических остатков без летучих органических соединений. Активация перед покраской, склеиванием, заливкой… Травление ПТФЭ, фоторезиста, оксидных слоев… Супергидрофобные и гидрофильные покрытия. Основные характеристики: Напольные шкафы Вакуумные камеры : Нержавеющая сталь или алюминий. Объем камеры: ок. 100 литров Подача газа: Регуляторы массового расхода (MFC) Частоты генератора: 80 кГц (0–1000/3000 Вт), 13,56 МГц (0–300/600/1000 Вт), 2,45 ГГц (0–1000 Вт) Органы управления: Базовый ПК управление (Windows CE), полное управление ПК (Windows 10 IoT) Измерение давления: Пирани, манометр мощности
Технические характеристики
ХарактеристикиТипплазмаДругие характеристикидля печатные схемы, автоматические, лабораторные, вакуумные, для печати этикеток, управляемые ПК, для 3D-деталей, для пластин, для производства очков, переносные, для удаления пятен, для медицинских приборов, для тканей, для пластин
