В основном используется для создания антибликовых покрытий высочайшего качества при производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов, а также для нанесения пассивирующей пленки на заднюю сторону солнечных элементов. Графитовая лодочка и пластины готовы → Впуск азота → Загрузка графитовой лодочки → Вакуумирование, испытание под давлением → Предварительная очистка и проверка аммиака → Вакуумирование трубки, проверка на утечку, постоянная температура → Предварительное покрытие → Покрытие → Вакуумирование, испытание под давлением → Очистка трубки и вход азота → разгрузка графитовой лодочки. · Совместимость с процессом SiOxNy PERC. · Технология уплотнения фланцев с двойной охлаждающей водой. · Запатентованная технология внутреннего нагрева. · Высокоскоростной модульный механизм толкания лодки. · Бесконтактная графитовая лодочка с кварцевой трубкой. · Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности. · Независимо разработанная система CCC. · Технология быстрого нанесения покрытия. · Защита от перегрева, поломки термопары и столкновения лодки.
Технические характеристики
ХарактеристикиМетодPECVDПрименениесолнечная
