Ход 18 мм при занимаемой площади 45 x 40 мм для работы в замкнутом контуре (разрешение до 50 нм), многоосные комбинации без переходных пластин. Миниатюрный столик перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом с измерительной системой.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейная, трансляцияТип пьезоэлектрическийКоличество осеймногоосныйДругие характеристикиточность, миниатюрность, измерениеХод
18 мм (0,709 дюйма)
Скорость
1,2 мм/с
