для условий сверхвысокого вакуума до 10^(-9) мбар ультракомпактная конструкция ход 3,5 мм занимаемая площадь 15 x 15 мм ультрамаленькие миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия MS15 для сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТипмоторизованный, пьезоэлектрическийКоличество осей3 осиДругие характеристикикомпактный, миниатюрный, вакуумный >Ход
3,5 мм (0,138 дюйма)
Скорость
1,5 мм/с
