для условий высокого вакуума до 10^(-9) мбар. Ход 8 мм при занимаемой площади 30 x 30 мм. Особенно плоский корпус (высота 10 мм). Миниатюрные столики перемещения с пьезоэлектрическим инерционным приводом. Версия DS 30 для сверхвысокого напряжения.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТиппьезоэлектрическийДругие характеристикиминиатюрность, совместимость с вакуумомХод
8 мм (0,315 дюйма)
Скорость
1,2 мм/с
