Точность под давлением. Точность под контролем. Контроллеры и измерители давления серии PC100 сочетают в себе множество высокопроизводительных технологических функций, обеспечивающих новый уровень точности и надежности регулирования давления в требовательных полупроводниковых процессах, осаждении из паровой фазы и других сверхточных производственных процессах. Серия PC100, созданная на основе проверенной технологии контроллера массового расхода Brooks GF100, имеет цельнометаллический тракт высокой чистоты, усовершенствованную сенсорную технологию, разработанную специально для устранения дрейфа сенсора, а также пользовательский интерфейс и возможность диагностики устройства, что значительно упрощает эксплуатацию устройства. оценка и устранение неполадок, что приводит к ограничению перерывов в обслуживании и сокращению времени простоя. Особенности • Время отклика:
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениегаз, расходДругие характеристикиточность
