Z3TM+ расширяет портфель модулей, обслуживающих движущиеся платформы. Этот модуль добавляет четыре независимые степени свободы, а именно оси Tip, Tilt, Theta и Z, встроенные в увеличенный полый тета-вал. Одна конфигурация включает в себя ось Z, которая теперь имеет двойную ось Z: одну для точной (FZ) и одну для грубой (CZ). По своей конструкции этот дополнительный модуль позволяет полностью реализовать профили движения пластин для передовых полупроводниковых приложений, предоставляя таким образом OEM-производителям готовое решение для любой полупроводниковой технологии. Компактность продукта устанавливает рекордную плотность с точки зрения количества функций на объем, а его производительность устанавливает новые рыночные стандарты точности и динамики на уровне пластин. Тонкая ось Z на основе изгибов Z3TM+ позволяет OEM-производителям перейти от дорогих и устаревших пьезоэлектрических решений, устраняя проблемы с гистерезисом, одновременно поддерживая разрешение, точность и повторяемость нанометрового уровня при еще более высокой динамике. Благодаря встроенной поддержке правильного выравнивания образца модуль позволяет дополнительно контролировать плоскостность пластин относительно головок оборудования с помощью дополнительных осей «наконечника» и «наклона». Такая уникальная функциональность позволяет пользователям получить новый уровень управления процессом, например, плоскостность, номинальный угол падения (AOI), прямолинейность фокальной плоскости и многое другое, что дает беспрецедентную возможность добиться производительности на уровне пластины с помощью OEM-техники. .
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осей5 осейХарактеристикиавтоматическийПриложениядля обработки пластинДругие характеристикикомбинированные модули, точность, многоуровневая архитектураПовторяемость
5 мкм, 10 мкм
Нагрузка
Макс.: 25 кг (55,12 фунта)
Мин.: 4 кг (8,82 фунта)
Скорость
Макс.: 10 м/с (32,81 фута) /с)
Мин.: 0,1 м/с (0,33 фута/с)
