КаталогиСерия CMC4 страницыСерия 480010 страниц
Технические характеристики
Компактный, проверенный, без подогрева манометры для экономичного измерения вакуума. Емкостные манометры серии CMC от Brooks Instrument обеспечивают надежные и точные измерения вакуума в широком диапазоне рабочих температур, обеспечивая экономичную альтернативу более крупным манометрам премиум-класса без подогрева. Его компактная конструкция и проверенная производительность делают его идеальным обновлением существующих инструментов, которым требуется манометр небольшого форм-фактора. Надежная и повторяемая работа обеспечивается даже в самых агрессивных процессах благодаря цельносварной конструкции и смачиваемым поверхностям Iconel®. Сочетание прецизионных компонентов и широкого рабочего диапазона с температурной компенсацией позволяет Brooks обеспечивать лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и диапазона для оптимальной стабильности измерений. Особенности • Доступно для технологических диапазонов от 10 Торр до 1000 Торр • Доступны два уровня точности: 0,25% или 0,50% от показания (опция) • Исключительные характеристики в широком диапазоне рабочих температур • На 40% меньше, чем у традиционных ненагреваемых емкостных манометров • Все- Сварная конструкция и смачиваемые поверхности из Inconel® Преимущества • Опциональная высокоточная калибровка соответствует точности более дорогих необогреваемых манометров премиум-класса • Лучшие в своем классе температурные коэффициенты нуля и диапазона • Компактная конструкция позволяет разместить устройство в ограниченном машинном пространстве • Оптимальная повторяемость измерений по сравнению с другими к другим конструкциям, которые склонны к ошибкам, вызывающим внутренние напряжения. Области применения Производство полупроводников. Процессы осаждения тонких пленок — стекло, полотно и оптические покрытия. Сублимационная сушка скоропортящихся материалов. Высокотехнологичные покрытия для медицинских инструментов (хирургических инструментов, стоматологических боров и т. д.)/div>
