КаталогиVDM3004 Страницы
Технические характеристики
Высочайшая точность потока для Доставка пара деионизированной (DI) воды сверхвысокой чистоты. Модуль доставки пара (VDM) от Brooks Instrument — это высокопроизводительный автономный модуль для высокоточной доставки деионизированного (DI) водяного пара сверхвысокой чистоты. Он имеет энергоэффективную конструкцию, которая позволяет генерировать низкотемпературный пар сверхвысокой чистоты. Он использует проверенную технику подачи пара и сочетает ее с передовым цифровым управлением и встроенными диагностическими функциями в небольшом и удобном корпусе. Разработанный для передовых процессов пассивации полосы и металла после травления, VDM обеспечивает повышенную точность, более высокие скорости потока, более широкий диапазон управления и более низкое энергопотребление по сравнению с системами мгновенного испарения. Основываясь на проверенных методах измерения теплового массового расхода, VDM производит пар в неперегретом состоянии, снижая агрессивное воздействие деионизированной воды, повышая надежность и обеспечивая более чистую работу. VDM предлагает удобные функции регистрации данных и диагностики через независимый сервисный порт и интуитивно понятный графический интерфейс пользователя. Особенности • Диапазон расхода: 3 ст. л/мин (пар DIW) • Прямое измерение водяного пара с превосходной точностью • Подключается непосредственно к водопроводу деионизированной воды в доме • Работает при более низких температурах (неперегретое состояние) • Оптимизированная конструкция для промывки и слива • Цифровой EtherCAT коммуникации • Графический пользовательский интерфейс Brooks Expert Support Tool (BEST) Преимущества • Использует проверенную и надежную технику измерения и контроля теплового массового расхода • Высокая устойчивость к переменному давлению подачи деионизированной воды Улучшенная коррозионная стойкость во влажном контуре Обеспечивает более чистую работу
