Стандартные конфигурации интерферометра ZYGO поддерживают множество типов сценариев измерений. Большинство интерферометров могут поддерживать прямую или прямоугольную ориентацию измерения и могут быть изготовлены для работы в вакууме. Этот прибор измеряет цели с помощью ретрорефлектора для отслеживания объектов, движущихся преимущественно в одном линейном измерении или вращающихся вокруг фиксированной точки. ZYGO предлагает стандартный и компактный линейный интерферометр, позволяющий удовлетворить различные ограничения по пространству системы. Примеры: прицельные столики, портальные системы, рулевые зеркала. Этот прибор измеряет плоские зеркальные цели для отслеживания объектов, движущихся в нескольких линейных измерениях с ограниченным вращением. Интерферометры с плоскими зеркалами ZYGO отличаются высокой стабильностью и минимизируют тепловую погрешность. Примеры: пластинчатые столики, многоуровневые системы столиков. Этот прибор измеряет изменения показателя преломления для использования в компенсации других осей измерения. Компактный компенсатор длины волны ZYGO обеспечивает высокоточную обратную связь по изменению индекса для достижения наилучших результатов измерения смещения в условиях окружающей среды. Завершите измерительную систему, направив луч от лазера к интерферометрам и, в конечном итоге, к измерительной электронике. ZYGO предлагает широкий выбор стандартных складных зеркал, светоделителей, оптоволоконных датчиков и оптоволоконных кабелей для гибкой конфигурации вашей измерительной системы.
Технические характеристики
ХарактеристикиПриложениядля измерения смещенияПараметры лазерный, оптический, компактный, с высоким разрешением, для литографии
