Высокая скорость и высокое разрешение при сохранении стабильных и сверхточных измерений. Идеально подходит для прецизионных столиков, систем контроля/производства полупроводников и сверхточных обрабатывающих станков. Шкала высокого разрешения с шагом сигнала ок. 138 нм, превосходящие системы интерферометров световых волн. Высокая стабильность, независимая от влажности, давления воздуха и возмущений воздуха. Точность опорной точки: ±0,1 мкм. Точность шкалы: ±0,04 мкм (длина измерения: 40 мм). Бесконтактная конструкция исключает обратную ошибку. Длина измерения: от 40 до 420 мм, 9 типов (-R/-RS) Длина измерения: от 10 до 420 мм, 10 типов (-N/-NS) Доступны специальные немагнитные и совместимые с вакуумом модели Использование стекла с низким коэффициентом расширения: -0,7 x10 -6 °C (длина измерения: от 10 до 420 мм) Разрешение: 14,1 мкм
Технические характеристики
ХарактеристикиТипинкрементнаяТехнологияоптическаяКонструкциябесконтактный, открытыйВыходной сигналаналоговый, цифровой, синусоидальныйПриложенияпромышленный, для линейных двигателейДругие характеристикикомпактный, высокоточный, высокого разрешения, стеклянная шкала, высокоскоростной Разрешение
Макс.: 0,1 мкм
Мин.: 0,01 мкм
Скорость линейного энкодера
Макс.: 400 мм/с
Мин.: 0 мм/с
Температура процесса
Макс.: 30 °C (86 °F)
Мин.: 10 °C (50 °F)
