Экономичный инфракрасный излучатель JSIR340-4 оптимизирован для анализа газа NDIR и других приложений инфракрасных измерений, таких как DIR-спектроскопия, ATR-спектроскопия или PAS-спектроскопия. Мембрана ИК-излучателя на основе cmOS достигает температуры до 800 °C. Он обеспечивает долговременную стабильную мощность излучения для промышленного применения для контроля и мониторинга технологических газов, попутных газов при температуре окружающей среды от -20 до 85 °C. Вариант упаковки в стандартном корпусе ТО с колпачком подходит для измерения расстояний до 2 см. МЭМС-чип, используемый в наших ИК-излучателях, состоит из многослойной диафрагмы с горячей пластиной, содержащей устойчивый к высоким температурам металлический слой C-MOSI. Чип-эмиттер имеет активную площадь 2,2 х 2,2 мм2 и выполнен на кремниевой подложке с протравленной мембраной. Все процессы изготовления тонких пленок выполняются с использованием стандартных процессов MEMS и материалов, совместимых с cmOS. Активный резистивный слой C-MOSI защищен от старения и воздействия окружающей среды.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипинфракрасныйПрименениес газом датчик
