Описание семейства продуктов
- Лучшее в отрасли рабочее расстояние от 19 до 31 мм
- EO разработан и изготовлен для приложений фокусировки или обработки изображений
- Активное согласование для оптимальной производительности
- Сверхширокий спектральный диапазон от 190 нм до 11 мкм без хроматических аберраций
- Доступны высокоэффективные объективы TECHSPEC ReflX
Отражающие объективы обычно используются в приложениях, требующих превосходного изображения качества или фокусировки в широком спектральном диапазоне. Объектив в стиле Шварцшильда демонстрирует эффективность, близкую к дифракционной, во всем диапазоне отражения выбранного покрытия. Благодаря устранению проблем хроматической аберрации и поглощения материала, связанных со стандартными объективами микроскопа, эти компоненты идеально подходят для приложений, требующих высокой пропускной способности и отличного разрешения в УФ или ИК, включая ИК-Фурье-спектроскопию, эллипсометрию, фотолитографию и контроль полупроводников.
Цели доступны как в конечных, так и в бесконечных сопряженных стилях. Ограниченный вариант идеально подходит для стандартных и компактных конструкций, поскольку они не требуют дополнительной линзы фокусирующей трубки. Бесконечно сопряженная конструкция требует 200-мм вторичной тубусной линзы. Бесконечная конструкция позволяет использовать промежуточные фильтры и светоделители, что делает эти объективы идеальными также для биотехнологических и флуоресцентных приложений. Для целей фокусировки луч должен заполнять указанный диаметр входного зрачка объектива. В любом случае следует отметить, что свет затемняется, создавая профиль освещенности с меньшей энергией в центральной части луча.
Конструкция объектива ReflX имеет ряд преимуществ по сравнению с обычными объективами Шварцшильда. Прочная конструкция позволяет интегрировать эти объективы в оборудование с умеренным нагревом и вибрацией без ущерба для производительности. Все внутренние поверхности были специально обработаны для устранения рассеянного света. Каждый объектив производится в США и собирается, тестируется и сертифицируется на нашем интерферометре Zygo GPI-XP. Сертификат соответствия прилагается к каждой цели. Объективы TECHSPEC High Performance ReflX доступны с прошедшим волновым фронтом &lambda/4 (PV). Для получения индивидуальных версий, включая лазерное покрытие и другую длину тыльной трубы, свяжитесь с нашим инженерным отделом.
Технические характеристики
Coating: DUV Enhanced Aluminum (150-11000nm) Entrance Pupil Position (mm): 7 (Diameter) Horizontal Field of View, 1/2′ Sensor: 0.32mm Horizontal Field of View, 2/3′ Sensor: 0.44mm Focal Length FL (mm): 10.06 Magnification: 20X Numerical Aperture NA: 0.33 Mounting Threads: RMS Type: Microscope Objective Working Distance (mm): 18.88 Obscuration (%): 30.19 Transmitted Wavefront, RMS: &lambda,/10 Diameter of Small Mirror (mm): 8.4 Aperture Diameter (mm): 7.9 Note: Requires a 200mm secondary tube lens Coating Specification: Ravg >83% @ 150 — 1000nm (typical)
Ravg >94% @ 1000 — 11000nm (typical) Wavelength Range (nm): 150 — 11000 Style: Infinity Corrected Manufacturer: Edmund Optics
Regulatory Compliance RoHS: Not Compliant Certificate of Conformance: View