Очистители Subtronic были разработаны для удаления основных примесей, содержащихся в благородных газах, что позволяет получать сверхчистые газы. Эти газоочистители удаляют O2, CO и CO2 из благородных газов, таких как N2, Ar&hellip. Размеры очистителей Subtronic позволяют обрабатывать объем газа в 500 нм3. Полученная чистота составляет порядка 1 частей на миллиард. Основные области применения: очистка сварочных газов, линия сушки, нейтральные газы для микроэлектроники, стандартный эталонный газ для анализа.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипфильтр