Серия очистителей Subtronic POU компании Sertronic разработана для удаления примесей, содержащихся в газах, что позволяет получать сверхчистые материалы. Они удаляют газы, содержащие O2, CO и CO2, из благородных газов, таких как N2 и Ar. Они обычно используются для применений, связанных с линиями сушки, нейтральными газами и нейтральными газами для микроэлектроники. Очистители Subtronic демонстрируют размеры, позволяющие обрабатывать объемы до 500 Нм3. Их степень чистоты приближается к 1 ppb.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипфильтр
