SPG5A-6A — это емкостно-диафрагменный вакуумметр, в котором используется сапфировый емкостной датчик давления для достижения высокой точности и надежности, компактных размеров и легкого веса. Доступны модели с самонагреванием и без нагрева. SPG5A/6A особенно подходит для использования в производстве полупроводников. Особенности * — Использует монокристаллический сапфир, обеспечивающий превосходную стойкость к коррозии и высоким температурам. Высококоррозионностойкий и термостойкий монокристаллический сапфир, чувствительный к давлению, также имеет превосходные механические характеристики. Емкостные измерения имеют высокую повторяемость даже при использовании при высоких температурах * — Высокоточные измерения. Усовершенствованная технология обработки сигналов обеспечивает превосходные температурные характеристики и линейность измерения * — Компактный и легкий вес. Небольшой размер и легкий вес благодаря технологии микрообработки * — Быстрота. время прогрева и стабильное регулирование температуры датчика. Цифровое ПИД-регулирование на базе микропроцессора обеспечивает быстрый прогрев и стабильную температуру датчика (модели с самонагреванием).
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияемкостная диафрагмаДисплейцифровой , аналоговый, без дисплеяДругие характеристикиХимическая устойчивостьДиапазон вакуума
Макс.: 100 000 Па (14,503773773 фунтов на квадратный дюйм)
Мин.: 0 Па (0 фунтов на квадратный дюйм)
