Датчик ZNX представляет собой бесконтактную систему измерения положения, основанную на принципе емкостной микрометрии. Две сенсорные пластины (мишень и зонд) образуют конденсатор с параллельными пластинами. Расстояние между этими двумя пластинами можно измерить с помощью соответствующего электронного контроллера с точностью лучше 0,1 нм, диапазоном до 1,25 мм, частотной характеристикой до 5 кГц и линейностью до 0,02%. Поскольку датчик ZNX является бесконтактным методом, он не имеет гистерезиса. В точке измерения мощность не рассеивается. · Прецизионное измерение до пикометров · Стабильность измерения · Настраивается в соответствии с требованиями применения · Опции для широкого спектра применений -Основные характеристики- Диапазон 20 ~ 1250 мкм, Субнанометровое разрешение положения, Нулевой гистерезис, Погрешность линейности до 0,02%, Полоса пропускания до 5 кГц, доступны термины Super Invar, опции, совместимые с вакуумом, ошибка линейности (%):
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияемкостная диафрагмаДисплейаналоговый Другие характеристикис контроллером, компактный
