Эта машина предназначена для легирования фосфором и бором для формирования «pn-перехода», важнейшего компонента солнечных элементов из кристаллического кремния. Характеристики POCl₃ Высокая производительность: 7854 пластин/час (2400 пластин на лодку) Время цикла: 110 минут Время безотказной работы: 99 % Высокая производительность BBr₃: 3600 пластин/час (2400 пластин на лодку) Время цикла: 240 минут Время безотказной работы: 99 %
Технические характеристики
ХарактеристикиФункцияРаспространениеКонфигурацияшкаф
