Высокоточное бесконтактное измерение абсолютного положения по 64 синхронизированным каналам. Система ZPS SensorZYGO ZPS™ измеряет абсолютное положение с помощью сверхкомпактных оптических датчиков, которые легко интегрируются в высокоточные приложения, такие как деформируемые зеркала и позиционирование линз. Система оптических датчиков обеспечивает до 64 синхронизированных каналов высокоточного бесконтактного измерения абсолютного положения в диапазоне 1,2 мм. Разрешение измерения составляет 0,01 нм со стабильностью измерения ≤ 1 нм/день. Оптический датчикОптические датчики не выделяют тепла и нечувствительны к электромагнитным помехам, что делает систему ZPS идеальной для высокоточных приложений, на которые могут влиять эти факторы. Сверхкомпактные датчики подключаются к компактному централизованному шкафу с помощью оптоволоконных кабелей. Бесплатное программное обеспечение ZPS™ от ZYGO обеспечивает подключение по принципу «включай и работай» между системой ZPS и вашим компьютером, что позволяет вам быстро и легко приступить к работе с вашей системой. Система ZPS обычно используется в системах с обратной связью с обратной связью, которым требуется непрерывный поток высокоточных данных о положении от нескольких датчиков для компенсации дрейфа и поддержания точного позиционирования и выравнивания. Систему также можно использовать в качестве инструмента в научно-исследовательских и производственных лабораториях для выравнивания испытательных приспособлений или для количественной оценки динамических механических характеристик. • Бесконтактное оптическое измерение • Повторяемое измерение абсолютного положения (≤ 0,5 нм, 3σ) • Высокоточная система с использованием запатентованных алгоритмов компенсации • Сверхкомпактные датчики без чувствительности к электромагнитным помехам и выделения тепла • Надежные оптоволоконные компоненты, проверенные в телекоммуникациях • Масштабируемость, до 64 каналов
Технические характеристики
ХарактеристикиТиплинейныйКонтактный/бесконтактныйбесконтактнаяТехнологиязамкнутый контур, оптический, инфракрасный, оптоволоконныйВыходной сигналцифровой, EthernetПрименениепромышленное, для небольших помещенийДругие характеристикикомпактный, абсолютный, прецизионный, высокоточный, с высоким разрешением, миниатюрный , высокочувствительный, искробезопасный, с внешней электроникой, субнанометровое разрешениеДиапазон измерения
3,5 мм (0,14 дюйма)
Макс. : 4,1 мм (0,16 дюйма)
Мин.: 2,9 мм (0,11 дюйма)
Скорость измерения
Макс.: 208 000 Гц
Мин.: 1 Гц
