Применение оборудования Линейное оборудование, которое может быть интегрировано с одним или двумя PECVD-оборудованием с интерфейсом «лодка-лодка» и осуществлять автоматическую загрузку и выгрузку графитовых лодочек и пластин. Это оборудование может применяться в процессе до и после процесса PECVD, которое может загружать пластины из кассеты в графитовую лодочку и транспортировать заполненную лодочку к оборудованию PECVD или транспортировать обработанную лодочку к этому оборудованию и выгружать пластины из графитовой лодочки. лодка на кассету автоматически. Особенности • Модульная конструкция позволяет интегрировать один или два комплекта оборудования PECVD. • Управление с ПК, управление планшетным компьютером, простое и понятное управление. • Онлайн-обнаружение микротрещин, определение толщины пленки, система проверки цвета и автоматическая обработка пластин NG (требуется дополнительная плата). • Конфигурация «встроенная/автономная». • Совместимость с AGV, системой RFID, опциональной функцией MES.
Технические характеристики
ХарактеристикиРежим работыавтоматический, модульныйПрименение продуктаобработка, транспортировка, пластинаПриложенияпроцесс
