Представляем линейку продуктов метрологической системы, основанной на проектировании. RecipeDirector: автоматическое создание рецептов на компакт-диске SEM с использованием проектных данных. DesignGauge-Analyzer (DG-A): поддержка оценки OPC и оптимизация измерения шаблонов в процессе литографии. Особенности Создание рецептов в автономном режиме без использования пластины и CD-SEM Автоматическое создание рецептов путем указания точек и методов измерения. Рецепты высокого качества (постоянно, независимо от навыков оператора). Стиль сервера/клиента.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологияавтоматический, CD-SEMДругие характеристики измерение
