Камера представляет собой плазменную камеру или вакуумную камеру, в которой технологический газ удерживается под низким давлением. Камера выполнена в виде резервуара под давлением. Он изготовлен из материала, не подверженного травлению используемыми технологическими газами, часто из нержавеющей стали. Для некоторых процессов требуются вакуумные камеры из кварцевого стекла высокой чистоты. Стандартно камеры (реципиенты) изготавливаются из нержавеющей стали. На исследовательском заводе Bell Jar плазменная камера представляет собой колпак из кварцевого стекла высокой чистоты.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипплазмаДругие характеристикивакуум
