NanoChrome ULTRA обеспечивает превосходные измерения ультра-следовых количеств газов сверхвысокого давления. Выбор номер один для измерения ультра-следовых количеств газов в полупроводниковой промышленности. Революционный NanoChrome ULTRA включает в себя последние достижения в методологии обнаружения газов и обработки сигналов для обеспечения превосходных характеристик. Надежный мониторинг сверхвысокого давления Высокопроизводительный анализатор, специально разработанный для производства полупроводников, NanoChrome ULTRA обеспечивает высочайшую надежность мониторинга аргона (Ar), метана (CH4), оксида углерода (CO), диоксида углерода (CO2), водорода (H2). ), азот (N2) и неметановые углеводороды (NMHC) в широком диапазоне распространенных фоновых газов, включая Ar, H2, гелий (He), N2 и кислород (O2). NanoChrome ULTRA, оснащенный увеличенным дисплеем и новейшим программным обеспечением, использует усовершенствованный датчик детектора плазменной эмиссии (PED) и чувствительное программное обеспечение ProPeak, специально разработанные Servomex. Высокая производительность при более низких затратах Сенсорная технология NanoChrome ULTRA обеспечивает значительные преимущества по сравнению с традиционными технологиями пламенно-ионизационного детектора (FID) и детектора восстановительного газа (RGD) с точки зрения производительности, стабильности, безопасности и способности снижать текущие затраты. Усовершенствованная технология восстановления сигнала Servomex использует запатентованные методы фильтрации ProPeak для обеспечения высокочувствительных и выборочных измерений, на которые можно положиться. Благодаря отсутствию необходимости в метанизаторе или горючем топливном газе, NanoChrome ULTRA также обеспечивает значительную экономическую выгоду.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемая величинакислород, диоксид углерода, окись углерода, азот, метан, аргон, водородОбласть применениямониторингИзмеренное значениеотслеживаниеКонфигурациядля интеграцииТехнологияпламенная ионизацияДругие характеристикивысокая производительность
