Уникальное анализаторное решение для одновременного мониторинга следов влаги и кислорода. DF-760E представляет собой компактное интегрированное решение для мониторинга объемных газов сверхвысокого давления, используемых при производстве интегральных плат. Сочетая в одном компактном устройстве лучшие в отрасли свойства неистощающегося кулонометрического электронного датчика Servomex и надежную технологию перестраиваемого диодного лазера (TDL), DF-760E измеряет сверхнизкие уровни содержания примесей H2 и O2 в фоновых газовых смесях N2, H2, He, O2 и Ar (только H2O в O2). Предлагая исключительно низкий, лучший в отрасли нижний предел обнаружения (LDL) 100ppt (H2O) / 45ppt (O2), DF-760E обеспечивает высокую скорость отклика, непревзойденную стабильность и невосприимчивость к кислотным повреждениям, что делает его идеальным для проверка качества и обнаружение утечек в полупроводниковых приложениях FAB. Эти исключительные характеристики измерения поддерживаются конструкцией, не требующей особого обслуживания, благодаря устойчивым технологиям измерения дрейфа нуля, которые не требуют постоянной калибровки.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемая величинакислород, водородОбласть применениямониторингИзмеряемое значениеслед, влажностьКонфигурациядля интеграции, компактнаяТехнологияTDLДругие характеристикиодновременно
