SERVOPRO DF высокой чистоты DF-560E обеспечивает лучшее в отрасли обнаружение ультра-следовых следов кислорода. Благодаря нижнему пределу обнаружения (LDL) 45 частей на триллион (ppt), DF-560E обеспечивает полупроводниковую промышленность лучшим в отрасли кислородом ( O2) измерения для контроля качества газа сверхвысокой чистоты (UHP) электронного класса. Ультра-следовые измерения кислорода на самых низких уровнях. Разработанный для измерения ультра-микрокислоты на самых низких уровнях, DF-560E обеспечивает полупроводниковой промышленности лучший в отрасли нижний предел обнаружения (LDL) — 45 ppt. Гибкий и адаптируемый, DF-560E способен контролировать O2 в различных фоновых газах, одновременно регистрируя данные в различных форматах. Это устройство сводит на нет эффекты приложений, подверженных сбоям, благодаря высокой стабильности кулонометрической технологии измерения Servomex, обеспечивающей высокую скорость реакции при наличии изменений пробы и скорости потока. Разработан для простоты использования Идеально подходит для полупроводниковых производств и аналитических тележек, DF-560E оптимизирован для простоты использования и портативности. Управление осуществляется через переднюю панель или через цифровую связь, а различные варианты ручной переноски облегчают транспортировку. DF-560E также снижает эксплуатационные расходы благодаря неистощающейся кулонометрической технологии с заводской калибровкой, обеспечивающей экономичную установку и настройку. Единственное требование к постоянному техническому обслуживанию — это ежегодная калибровка SPAN, без необходимости программируемой замены ячеек.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемый объекткислородОбласть применения мониторинг, для контроля качестваИзмеряемое значениеследКонфигурацияпереноснойДругие характеристикицифровой, экономичный
